光干涉透射法檢測元件厚度差的原理:
在激光干涉儀進行透射測量時,激光光源發出的單色光,垂直向下經過被檢元件上、下兩表面被標準反射鏡反射后會形成干涉條紋,每個點上所生的干涉條紋取決于該點上兩相干的光的光程差。當光程差為nλ+0.5λ時,顯示為暗條紋;當光程差為nλ+λ時,顯示為亮條紋;
所以,當被檢元件的兩個面不完全平行,存在楔角時,沿楔角方向,元件的厚度逐漸增大,相應的光程差也逐漸變大,沿楔角方向就會產生間隔分布亮暗條紋。楔角越大,條紋越密集。
檢測指標的簡單說明:
PV值在數學上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。單位是λ(波長)。對應到干涉儀透射檢測上,就是被檢元件的厚度差。
RMS值在數學上的定義是均方根值(root-mean-square),單位是λ(波長),這是一個統計值,RMS的大小反映了這些數據值的離散程度。對應到干涉儀透射檢測上,RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好,高低起伏越少。
條紋根數是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現,與PV值成線性關系。條紋根數越少表明被檢元件的厚度差越小。
技術參數:
實物圖:
儀器參數:
序號 |
名稱 |
GBM08A |
1 |
測量原理 |
菲索干涉原理 |
2 |
激光器 |
半導體激光器 635nm 940nm |
3 |
有效孔徑 |
30mm (允許同時管控8個孔) |
4 |
標準鏡面形精度 |
0.05λ |
5 |
面形值重復精度 |
PV 0.06λ(標準片) |
6 |
面形值量程 |
PV 0~3λ |
7 |
測試時間 |
PV測試:1秒;條紋數測試:1秒內 |
8 |
夾具 |
有 |
9 |
軟件 |
PVmeter |
10 |
電源 |
220V 60W |
11 |
通訊接口 |
USB |
12 |
重量 |
15Kg |
13 |
自動化接口 |
預留 |